國立中山大學102學年度第2學期半導體製程原理課程大綱

國立中山大學 102學年度第2學期課程教學大綱

National Sun Yat-sen University 102Academic year Course syllabus

中文名稱
Course name(Chinese)

半導體製程原理

課號
Course Code

MOES584

英文名稱
Course name(English)

PRINCIPLES OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGY

課程類別
Type of the course

講授類

必選修
Required/Selected

選修

系所
Dept./faculty

材料與光電科學學系碩士班

授課教師
Instructor

曾百亨

學分
Credit

因應嚴重特殊傳染性肺炎等傳染病，倘若後續需實施遠距授課，授課方式調整如下：

尚未建立傳染性肺炎等傳染病之授課方式調整

因應嚴重特殊傳染性肺炎等傳染病，倘若後續需實施遠距授課，評分方式調整如下：

尚未建立傳染性肺炎等傳染病之課程評分方式﹝評分標準及比例﹞

課程大綱 Course syllabus

1. Crystal Growth – phase diagram, growth technique, wafer fabrication
2. Contamination Control – clean room, wafer cleaning, gettering
3. Doping – diffusion, ion implantation
4. Oxidation – kinetics, process, characterization
5. Lithography and Etching – optical lithography, wet etching, plasma etching
6. Thin Film Growth – nucleation and growth, evaporation, sputtering, CVD
7. Metallization and Isolation – contact materials, material compatibility

課程目標 Objectives

本課程以半導體矽晶圓製程為核心，介紹各項製程的原理，使學生熟習各項製程之操控因素。

授課方式 Teaching methods

講授及研討

評分方式﹝評分標準及比例﹞Evaluation (Criteria and ratio)等第制單科成績對照表 letter grading reference

1.考試和作業：70%
2.尃題報告：30%

參考書/教科書/閱讀文獻 Reference book/ textbook/ documents
〔請遵守智慧財產權觀念，不可非法影印。教師所提供之教材供學生本人自修學習使用,不得散播及做為商業用途〕
No copies for intellectual property rights. Textbooks provided by the instructor used only for self-study, can not broadcast or commercial use

序號	作者	書名	出版社	出版年	出版地	ISBN#
1	J. D. Plummer, M. D. Deal, P. B. Griffin	Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice, and Modeling	Prentice-Hall	2008	New York

彈性暨自主學習規劃 Alternative learning periods

本門課程是否有規劃實施學生彈性或自主學習內容（每1學分2小時）

Is any alternative learning periods planned for this course (with each credit corresponding to two hours of activity)?

否：教師需於「每週課程內容及預計進度」填寫18週課程進度（每1學分18小時之正課內容）。
No：The instructor will include an 18-week course plan in the weekly scheduled progress (each credit corresponds to 18 hours of instruction)

是：教師需於「每週課程內容及預計進度」填寫16週課程內容（每1學分16小時之正課內容），並於下列欄位填寫每1學分2小時學生彈性或自主學習內容。
Yes：The instructor will include a 16-week course plan in the weekly scheduled progress (each credit corresponds to 16 hours of instruction);the details of the planned alternative learning periods are provided below (each credit corresponds to two hours of activity).

學生彈性或自主學習活動 Alternative learning periods	勾選或填寫規劃內容 Place a check in the appropriate box or provide details	時數 Number of hours
學生分組實作及討論 Group work and discussion
參與課程相關作業、作品、實驗 Participation in course-related assignments, work, or experiments
參與校內外活動（研習營、工作坊、參訪）或競賽 Participation in on- or off-campus activities (e.g., seminars, workshops, and visits) or competitions
課外閱讀 Extracurricular reading
線上數位教材學習 Learning with online digital learning materials
其他（請填寫規劃內容） Other (please provide details)

每週課程內容及預計進度 Weekly scheduled progress

週次	日期	授課內容及主題
1	2014/02/17~2014/02/23	Introduction
2	2014/02/24~2014/03/02	Semiconductor Materials and Devices
3	2014/03/03~2014/03/09	Crystal Growth
4	2014/03/10~2014/03/16	Crystal Structure and Defects / Phase Diagram
5	2014/03/17~2014/03/23	Solid-State Diffusion - mechanisms, kinetics
6	2014/03/24~2014/03/30	Doping by Diffusion
7	2014/03/31~2014/04/06	Doping by Ion Implantation (1)
8	2014/04/07~2014/04/13	Doping by Ion Implantation (2)
9	2014/04/14~2014/04/20	Thermal Oxidation - mechanisms, kinetics
10	2014/04/21~2014/04/27	Mid-term Exam (Materials Science, Diffusion, Ion implantation, Oxidation)
11	2014/04/28~2014/05/04	Contamination Control - clean room, wafer cleaning, gettering
12	2014/05/05~2014/05/11	Photolithography - optical techniques
13	2014/05/12~2014/05/18	Etching - chemical etching, plasma etching
14	2014/05/19~2014/05/25	Thin Film Deposition - Sputtering
15	2014/05/26~2014/06/01	Thin Film Deposition - CVD
16	2014/06/02~2014/06/08	Metallization
17	2014/06/09~2014/06/15	Device Isolation
18	2014/06/16~2014/06/22	Final Exam (Gettering, Photolithography, Etching, Film Deposition, Metallization)

課業討論時間 Office hours

時段1:
時間：星期二12:00-14:00
地點：B4013
時段2：
時間：星期四12:00-14:00
地點：B4013

系所學生專業能力/全校學生基本素養與核心能力 basic disciplines and core capabilitics of the dcpartment and the university

系所學生專業能力/全校學生基本素養與核心能力

課堂活動與評量方式

本課程欲培養之能力與素養

紙筆考試或測驗

課堂討論︵含個案討論︶

個人書面報告、作業、作品、實驗

群組書面報告、作業、作品、實驗

個人口頭報告

群組口頭報告

課程規畫之校外參訪及實習

證照/檢定

參與課程規畫之校內外活動及競賽

課外閱讀

※系所所學生專業能力

1.具備材料及光電的專業知識。

2.具備提出及執行材料或光電領域專題計劃的能力。

3.具備撰寫材料或光電專業領域的研究報告、學位論文及期刊論文的能力。

4.具備獨立設計和執行材料或光電研究計畫，分析實驗數據、並歸納結果或論點的能力。

5.具備參與工業界產品材料開發或其他學術的整合型研究計劃的能力。

6.參與國內外學術演講、研討會或至國內外學術機構研習，以培養良好的國際觀。

7.具備教導學弟妹或大學專題生，使用實驗儀器及管理實驗室的能力。

8.養成查閱材料或光電相關期刊的習慣，並成為材料或光電學會會員，定期參與研討會。

9.提供材料強度、缺陷，破壞行為及可靠度的相關知識，使理解因材料不良可能導致的公共安全危害。

※全校學生基本素養與核心能力

1.表達與溝通能力。

2.探究與批判思考能力。

3.終身學習能力。

4.倫理與社會責任。

5.美感品味。

6.創造力。

7.全球視野。

8.合作與領導能力。

9.山海胸襟與自然情懷。

本課程與SDGs相關項目：The course relates to SDGs items:

尚未建立SDGS資料

本課程校外實習資訊: This course is relevant to internship:

本課程無註記包含校外實習