國立中山大學094學年度第2學期半導體製程導論課程大綱

國立中山大學 094學年度第2學期課程教學大綱

National Sun Yat-sen University 094Academic year Course syllabus

中文名稱
Course name(Chinese)

半導體製程導論

課號
Course Code

B3021105

英文名稱
Course name(English)

INTRODUCTION TO SEMICONDUCTOR MICROFABRICATION TECHNOLOGY

課程類別
Type of the course

講授類

必選修
Required/Selected

選修

系所
Dept./faculty

機械與機電工程學系

授課教師
Instructor

林哲信

學分
Credit

因應嚴重特殊傳染性肺炎(武漢肺炎)，倘若後續需實施遠距授課，授課方式調整如下：

尚未建立傳染性肺炎(武漢肺炎)授課方式調整

因應嚴重特殊傳染性肺炎(武漢肺炎)，倘若後續需實施遠距授課，評分方式調整如下：

尚未建立傳染性肺炎(武漢肺炎)課程評分方式﹝評分標準及比例﹞

課程大綱 Course syllabus

1. Introduction
2. Characteristics of semiconductor materials
3. Silicon wafer preparation
4. IC fabrication process overview
5. Lithography
6. Oxidation
7. Deposiion
8. Doping
9. Wafer test
10. Assembly and package

課程目標 Objectives

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授課方式 Teaching methods

尚未建立課程授課方式

評分方式﹝評分標準及比例﹞Evaluation (Criteria and ratio)等第制單科成績對照表 letter grading reference

平時作業 30％
期中考 30％
期末考 40％

參考書/教科書/閱讀文獻 Reference book/ textbook/ documents
〔請遵守智慧財產權觀念，不可非法影印。教師所提供之教材供學生本人自修學習使用,不得散播及做為商業用途〕
No copies for intellectual property rights. Textbooks provided by the instructor used only for self-study, can not broadcast or commercial use

Semiconductor Manufacturing Technology
Michael Quirk and Julian Serda
Prentice Hall Ltd.

彈性暨自主學習規劃 Alternative learning periods

本門課程是否有規劃實施學生彈性或自主學習內容（每1學分2小時）

Is any alternative learning periods planned for this course (with each credit corresponding to two hours of activity)?

否：教師需於「每週課程內容及預計進度」填寫18週課程進度（每1學分18小時之正課內容）。
No：The instructor will include an 18-week course plan in the weekly scheduled progress (each credit corresponds to 18 hours of instruction)

是：教師需於「每週課程內容及預計進度」填寫16週課程內容（每1學分16小時之正課內容），並於下列欄位填寫每1學分2小時學生彈性或自主學習內容。
Yes：The instructor will include a 16-week course plan in the weekly scheduled progress (each credit corresponds to 16 hours of instruction);the details of the planned alternative learning periods are provided below (each credit corresponds to two hours of activity).

學生彈性或自主學習活動 Alternative learning periods	勾選或填寫規劃內容 Place a check in the appropriate box or provide details	時數 Number of hours
學生分組實作及討論 Group work and discussion
參與課程相關作業、作品、實驗 Participation in course-related assignments, work, or experiments
參與校內外活動（研習營、工作坊、參訪）或競賽 Participation in on- or off-campus activities (e.g., seminars, workshops, and visits) or competitions
課外閱讀 Extracurricular reading
線上數位教材學習 Learning with online digital learning materials
其他（請填寫規劃內容） Other (please provide details)

每週課程內容及預計進度 Weekly scheduled progress

尚未建立課程內容與進度

課業討論時間 Office hours

尚未建立課業討論時間

本課程與SDGs相關項目：The course relates to SDGs items:

尚未建立SDGS資料

本課程校外實習資訊: This course is relevant to internship:

本課程無註記包含校外實習